当社では、光学機器に特化した技術により産業用照明装置、ロッド集光レンズ、露光用投影レンズを始め、大型基板用投影露光装置を設計・製造しております。半導体・液晶・PCB・LED・MEMS業界用の露光装置や検査装置において、常に最重要な心臓部分である光学システムの開発、製造に関して20年間以上の経験を持ち、特に投影型露光装置で重要な光学投影レンズの開発提案について、業界トップレベルの設計能力と実績を有しております。また、それぞれの光学部品だけではなく、最終的な製品に至るまでの全ての工程に関わり、一体化して開発することによって全体として高性能の光学システムを提供しております。
主に設計開発した光学製品
• 複数露光装置用紫外線投影レンズ
• 解像力が数百ナノから数マイクロメートルまで
• 露光範囲が数十ミリメートルから355ミリメートルまで
• 業界初のi/h/gの３波長用の超ブロードバンドの露光装置投影レンズ
• レンズエレメントの製造、評価、レンズアセンブリ、最終評価
• 上記投影レンズの照明光学系及び光源光学系
• 各種投影レンズにマッチングした照明系の構成・パラメータの最適化
• 投影露光装置のアライメントおよびオートーフォーカス系
• 各種露光装置にマッチングしたアライメントおよびAF系の設計・評価
• 直接描写方式の露光装置の投影光学システム
• TI社のDMDを変調素子としたLDI露光用投影レンズ、LD照明レンズなど数種類
• コンタクトとプロキシミティ露光装置の光学システム
• 各種の屈折式・反射屈折式の平行光、散乱光、偏光など露光装置の光学システム
• 産業用特注光学レンズ
• 特注の検査・計測のカメラレンズ、リレーレンズなど
• CCDカメラの各種レンズ、CCDカメラズームレンズ、携帯電話の結像レンズ
• レーザ加工装置のｆ－θレンズ、照明レンズ、観察光学系
• 顕微鏡光学システム
• 生物・工業用顕微鏡の透過、明・暗視野、位相差など対物レンズ、照明系、接眼レンズ
• 可視・赤外・紫外光源システムの光学設計と評価
などのようなシステム全体の開発経験があります。
お問合せmailto: penrodliu@gmail.com
