投影レンズの写真 光学系統図
弊社独自の投影レンズは、露光領域8インチで、解像度3μmL/Sのスペックを持つ低歪レンズであり、これは弊社のフラッグシップです。これから多様なニーズに最適化した光学設計で、深い焦点深度を維持しながら、さまざまな露光面積、解像度の投影レンズを開発し、シリーズ化しています。
解像度の顕微鏡写真
上図に示された顕微鏡写真のように、十分に3μmL/Sに解像されています。
投影レンズのDistortion測定
上図に示された投影レンズのDistortion測定結果のように、優れたディストーション（Distortion）性能を保証できます。
投影レンズの倍率調整時のDistortion測定
投影レンズのもう一つの特徴として、投影レンズの倍率調整をする際に、Distortionが悪化したり変化したりすることがありません。投影レンズの優れた安定性はお客様から評価されています。
露光装置の二大トレンドとしては、「高解像力」及び「高生産性」があり、特に「高解像力」が重視される傾向があります。
弊社の投影レンズは弊社の代表商品であり、応用範囲が広く、お客様から高い信頼と採用の実績があります。
お客様の特別仕様に合わせて製品開発を行うことが可能です。
お問合せ: penrodliu@gmail.com
